EN 62047-4-2010 半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC62047-4-2008);德文版本EN62047-4-2010
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时间:2024-05-27 09:31:51
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【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part4:GenericspecificationforMEMS(IEC62047-4:2008);GermanversionEN62047-4:2010
【原文标准名称】:半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC62047-4-2008);德文版本EN62047-4-2010
【标准号】:EN62047-4-2010
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2011-03
【实施或试行日期】:2011-03-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Automation;Bussystems;Classificationsystems;Communicationtechnology;Components;Databus;Electricalengineering;Electricalproperties;Electromechanical;Environment;Genericspecification;Informationprocessing;Informationtechnology;Materials;Measuringtechniques;Mechanicalproperties;Microelectronics;Microsystemtechniques;Microtechnique;Opticalproperties;Parameters;Properties;Qualityassessment;Semiconductordevices;Specification(approval);Symbols;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingconditions;Testingdevices;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:22P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC62047-4-2008);德文版本EN62047-4-2010
【标准号】:EN62047-4-2010
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2011-03
【实施或试行日期】:2011-03-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Automation;Bussystems;Classificationsystems;Communicationtechnology;Components;Databus;Electricalengineering;Electricalproperties;Electromechanical;Environment;Genericspecification;Informationprocessing;Informationtechnology;Materials;Measuringtechniques;Mechanicalproperties;Microelectronics;Microsystemtechniques;Microtechnique;Opticalproperties;Parameters;Properties;Qualityassessment;Semiconductordevices;Specification(approval);Symbols;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingconditions;Testingdevices;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:22P;A4
【正文语种】:英语
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